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箱式真空炉惰性气体使用注意事项

关键词:惰性气体,箱式炉,真空炉,箱式真空炉,真空泵,法兰,刚玉管

箱式真空炉惰性气体使用注意事项
   接通工作气体气路,将箱式真空炉气体出口端连接机械泵。打开箱式炉进气阀后记得一定合上真空泵电源,打开出气阀注:把住法兰,避免炉管受力过于偏大气体管路和抽空刚玉管。当箱式炉真空表到-0.1(指针到尽头时),关闭出气阀且关闭进气阀操作。
  
   先逆时针旋动旋钮开气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,然后缓慢打开出口减压阀使出口气压在0.004MPa(2小格)时, 要逆时针旋动旋钮,并且缓慢打开箱式炉进气阀;密切注意箱式炉气压表,确认好气压在0.08MPa以下(如果气压高于0.08MPa就打开箱式炉出气阀放气即可)这些过程需要重复两边。
 
   在箱式真空炉气压表当气压相对稳定时,如要关闭箱式真空炉进气阀,请打开出气阀,抽真空到-0.1,关箱式炉出气阀关机械泵,打开箱式炉进气阀等操作步骤。
箱式真空炉惰性气体使用注意事项

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